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型号
Puristone晶圆缺陷检测设夆/span>品牌
普瑞斯這/span>产地
江苏样本
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灵活适配
本设备灵活适配6-12寸晶圆的检测,并支持客制化服务,支持晶圆类型有:Normal/透明/Frame /Taiko/减薄片。能为您提供更全面的解决方案、/p>
高兼容?/p>
标准配置支持2个单元,同时展现?*的兼容性,可适配多达3个不同类型的载体,包括FOUP/FOSB、Smif Pod、Open Cassette以及Frame Cassette,满足多样化的检测需求、/p>
高精?/p>
先进?0?.5微米分辨率的8K TDI(Time Delay and Integration)线扫相机,能够?***的精度捕捉晶圆表面的微小细节。这一高精度成像技术确保了检测过程中的每一个细节都不被遗漏,为晶圆制造提供了可靠的质量控制手段、/p>
高吞吐量
集成了自主研发的大视场光学系统与大靶面相机,这一黄金组合为精准检测奠定了坚实基础、/p>
2X明场检测:专为12寸晶圆设计,?.5微米的高精度分辨率,轻松实现每小?10片晶圆(WPH)的检测速度、/p>
2X暗场检测:针对0.5微米的微小缺陷,?2寸晶圆上,同样达到了每小?10片晶圆的高效处理速度、/p>
暂无数据
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