生产能力（kg/h）：
-适用物料９/p>-
过滤面积（c㎡）９/p>-
工作原理９/p>其他
自动化程度：
其他性能９/p>其他
滤料类型９/p>其他
样式９/p>其他
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AltraPure® Max 系列在线式气体过滤器，设计为过滤?nm?.003μm）颗粒物的工艺气体、/p>
为大工作流量范围?~1000slpm）、高杂质含量工艺气体应用提供了一个具有成本效益的过滤解决方案、/p>
过滤器具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如：化学气相沉积、物理气相沉积、干法刻蚀、氧化、扩散、离子掺杂、光刻显影等干法或湿法制程中工艺反应气体、吹扫气体、保护气体等的过滤、/p>
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移动?/p>
工商已核宝/p>
