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型号
槽式湿法刻蚀清洗设备品牌
三和?/span>产地
江苏样本
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设备配置说明９/p>
设备类型：Cassette-type & Cassetteless-type，支持SMIF或Foup 晶圆尺寸?50mm, 200mm, 300mm 设备配置?~12 个槽? 2~6 个Robot（可定制 可搭载先进超声波, 兆声 槽体过温保护, 各Module配置漏液传感 多级Wafer保护措施 支持化学液C.C.S.S / L.C.S.S 自动换酸, 自动补液、配? 可兼容多种浓度配 先进Marangoni干燥 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 化学?? 直排&回收 可靠性能：Uptime?5% Breakage?/10000 MTBF?20hours MTTR? hours 软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC功能
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