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第三代半导体外延设备
机型：QDE系列
外延设单腔/多片（**3×8Inch）+洁净真空机械手搬运， •各盘独立控温，控温精度高； •水平层流布气+分子泵排气，控制气体分布均匀； •工艺进程实时监控，精准控制参数；
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