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| 性能型号 | JXS-ZSV-1010 | JXS-ZSV-1215 | JXS-ZSV-1416 | JXS-ZSV-1618 | JXS-ZSV-1820 | |
| 镀膜室尺寸 | Ф1000×H1000mm | Ф1200×H1500mm | Ф1400×H1600mm | Ф1600×H1800mm | Ф1800×H2000mm | |
| 用于行业 | 包装材料、钟表行业?C行业筈/span> | |||||
| 用于产品 | 化妆品、镜子、车灯、小商品筈/span> | |||||
| 镀膜效枛/span> | 红色、蓝色、紫色、绿色、玫瑰色、咖啡色、七彩等 | |||||
| 真空室结枃/span> | 立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统 | |||||
| 真空获得系统 | 扩散泴/span> | ?6000（L/s（/span> | ?6000（L/s（/span> | ?6000（L/s（/span> | ?6000（L/s（/span> | ?2000（L/s（/span> |
| 罗茨泴/span> | ?00（L/s（/span> | ?200（L/s（/span> | ?200（L/s（/span> | ?200（L/s（/span> | ?200（L/s（/span> | |
| 机械泴/span> | ?40（L/s（/span> | ?40（L/s（/span> | ?40（L/s（/span> | ?10（L/s（/span> | ?10（L/s（/span> | |
| 维持泴/span> | ?0（L/s（/span> | ?0（L/s（/span> | ?0（L/s（/span> | ?0（L/s（/span> | ?0（L/s（/span> | |
| 备注 | 可根据客户的要求进行配置 | |||||
| 真空测量系统 | 薄膜?MKS)、冷阴极(MKS)、皮拉尼(MKS) | |||||
| 电源类型 | 直流电源、中频电源、脉冲电?nbsp; | |||||
| 极限真空指标 | 空载冷?nbsp; 1.0一 6.0×10-4Pa | |||||
| 蒸发电源 | ??/span> | ??/span> | ??/span> | ??/span> | ??/span> | |
| ?5KW | ?5KW | ?0KW | ?5KW | ?0KW | ||
| 离子轰击 | ?KW | ?KW | ?KW | ?0KW | ?0KW | |
| 深冷装置系统 | ?2P | ?2P | ?2P | ?2P | ?2P | |
| 工件转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速（可控可调（/span> | |||||
| 冷却方式 | 水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供（/span> | |||||
| 控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式?/span> | |||||
| 供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa?/span> | |||||
| 报警及保抣/span> | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能、/span> | |||||
| 整机总功玆/span> | ?5KW | ?5KW | ?5KW | ?5KW | ?5KW | |
| 输出频率 | 电压380V±5% ，频?0Hz（可根据客户国家用电标准配置（/span> | |||||
| 设备占地面积 | ?5m2 | ?5m2 | ?5m2 | ?5m2 | ?5m2 | |
| 备注 | 可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等、/span> | |||||
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