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性能型号		JXS-ZSV-1010	JXS-ZSV-1215	JXS-ZSV-1416	JXS-ZSV-1618	JXS-ZSV-1820
镀膜室尺寸		Ф1000×H1000mm	Ф1200×H1500mm	Ф1400×H1600mm	Ф1600×H1800mm	Ф1800×H2000mm
用于行业		包装材料、钟表行业、3C行业等
用于产品		化妆品、镜子、车灯、小商品等
镀膜效果		红色、蓝色、紫色、绿色、玫瑰色、咖啡色、七彩等
真空室结构		立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统
真空获得系统	扩散泵	≥16000（L/s）	≥26000（L/s）	≥26000（L/s）	≥36000（L/s）	≥42000（L/s）
	罗茨泵	≥300（L/s）	≥1200（L/s）	≥1200（L/s）	≥1200（L/s）	≥1200（L/s）
	机械泵	≥140（L/s）	≥140（L/s）	≥140（L/s）	≥210（L/s）	≥210（L/s）
	维持泵	≥30（L/s）	≥30（L/s）	≥30（L/s）	≥30（L/s）	≥30（L/s）
	备注	可根据客户的要求进行配置
真空测量系统		薄膜规(MKS)、冷阴极(MKS)、皮拉尼(MKS)
电源类型		直流电源、中频电源、脉冲电源
极限真空指标		空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa
蒸发电源		≥1台	≥1台	≥1台	≥1台	≥1台
		≥25KW	≥25KW	≥30KW	≥35KW	≥40KW
离子轰击		≥5KW	≥5KW	≥5KW	≥10KW	≥10KW
深冷装置系统		≥12P	≥12P	≥12P	≥12P	≥12P
工件转动方式		多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）
冷却方式		水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）
控制方式		PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、
供给指标		气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、
报警及保护		对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。
整机总功率		≤65KW	≤65KW	≤65KW	≤65KW	≤65KW
输出频率		电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置）
设备占地面积		≤55m2	≤55m2	≤55m2	≤55m2	≤55m2
备注		可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。

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