纯度９/p>-
目数９/p>-
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性能
6英寸单片晶圆片降低衬底总成?5%;效率提升8倌/p>
FRT表面形貌测试 BOW=1.4um
AFM表面测试 Ra=0.73um
晶片表面可直接进行CMP
暂无数据
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工商已核宝/p>
