设备简介：

　　本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光，也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光、�/p>

　　设备特点９�/p>

　　1.机身结构优化设计，机架采用龙门式结构，刚性好，承压能力强，能满足高负载下高速稳定运行、�/p>

　　2.下盘、上盘和太阳轮分别由电机单独驱动，电机均采用变频电机且使用变频调速器控制，能在有效设置范围内以任意速度工作，实现平稳的停止、加速、减速及换向，能有效的防止薄脆工件破碎、�/p>

　　3.游星轮传动采用柱销齿结构，传动平稳无冲击，游星轮使用寿命长。柱销齿采用销套结构，销套用不锈钢材料经热处理加硬，防锈耐磨，柱销齿磨损后只需更换销套，方便简单，使用成本低、�/p>

　　4.上盘下降过程中，设置了快降和缓降，缓降行程在气缸行程范围内可调，缓降速度也可根据工件抗冲击程度自由调整、�/p>

　　5.本机通过精密电气比例阀调整控制加工压力，可根据不同加工工艺要求，设定加工压力，压力控制精度高、�/p>

　　6.采用先进的PLC系统，触摸屏操作面板，所有工艺参数及工艺配方可在触摸屏上进行修改设置，可根据设定好的工艺参数自动完成整个加工过程、�/p>

　　7.上盘升降设计安全装置，在上盘升到顶时能有效的保护上盘不突然落下、�/p>

　　8.一体式，模块化设计理念：将原来三台减速机集成到一台主机内，提高了减速机的刚性，减速机模组和磨盘模组可各自装配好后再整体装配，提高了装配效率，使维护更加方便快捷、�/p>

主要技术参数：

序号	项目	规格参数
1	上研磨盘尺寸	Ø1188×Ø360×50(mm)
2	下研磨盘尺寸	Ø1188×Ø360×50(mm)
3	游星轮参�?/p>	柱销� 柱销直径Ø10 节距19.3 齿数52
4	游星轮数野�/p>	5
5	**工件尺寸	Ø370(mm)
6	工件厚度	0.3-30(mm)
7	下研磨盘转逞�/p>	0-50(rmp)
8	**加工压力	600Kg
9	主气缷�/p>	160×500
10	主电朹�/p>	7.5Kw
11	上盘电机	7.5Kw
12	副电朹�/p>	2.2Kw
13	设备总功玆�/p>	18Kw
14	外形尺寸	1900×1480×2700(mm)
15	设备质量	�?500Kg

安装条件９�/p>

序号	项目	指标要求
1	环境	室内地面平坦、无振动溏�/p>
2	水源	纯水或自来水
3	电源	三相五线 380V
4	压缩气源	0.6�?.8Mpa
5	温度	0�?45ℂ�/p>
6	相对湿度	�?5%

主要配置９�/p>

序号	项目	品牌
1	气缸	亚德审�/p>
2	减速器	整体式变速箱
3	轴承	哈、瓦、洛
4	可编程控制器〔PLC〔�/p>	台达
5	人机界面	威能
6	精密电气比例阀	亚德审�/p>
7	电磁阀	亚德审�/p>
8	变频�?/p>	丹佛�?/p>