参考价栻/p>面议
型号
CX-CVD50/100HC品牌
株洲晨昕中高频设备有限公号/span>产地
株洲样本
暂无额定温度9/p>1700°C
非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>≤?°C
最高温度:
1500°C看了化学气相沉积炉的用户又看亅/p>
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化学气相沉积炈/span>
设备概述9/span>
化学气相沉积炉(CVD)是一种通过气相前驱体在高温下反应,在基体表面沉积固态薄膜(如SiC)的设备。用于制备高纯度、高性能的碳化硅涂层或体材料,广泛应用于半导体、核燃料包壳、航空航天等领域
应用场景9/span>
半导体器仵/span>
SiC外延层(功率器件如MOSFET、二极管(/span>
核工丙/span>
TRISO核燃料颗粒包覆(沉积热解?SiC多层结构(/span>
耐磨涂层
航空发动机叶片表靡/span>SiC涂层(抗高温氧化(/span>
技术特点:
采用等静压石墨(纯度=/span>99.999%),可多区独立控温;
全自动智能控制,多气氛精密调控系统使炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
加热方式9/span>
感应加热(高频电源,5-50kHz)适合局部快速升?/span>
电阻加热(等静压石墨发热体)均匀性更众/span>
技术参?/span>(可接受非标定制)
型号 |
CX-CVD50/100HC |
CX-CVD60/18HC |
设计温度 |
1700°C |
1700°C |
**工作温度 |
1500°C |
1500°C |
直径*髗/span>(mm) |
500*500*1000mm |
600*750*1800 |
**载负能力'/span>L(/span> |
250L |
810L |
温度均匀?/span> (ΔT 1000°C咋/span>2200°C闳/span>) |
≣/span>±5°C |
≣/span>±5°C |
控温精度 |
±1°C |
±1°C |
温度测量 |
RT~1700°C全范围测?/span> |
RT~1700°C全范围测?/span> |
极限真空(CEDRT)* |
1pa |
1pa |
压升玆/span> |
2pa/h |
2pa/h |
冷却水压 |
1.5}/span>2.5 bar |
1.5}/span>2.5 bar |
冷却水温?/span> |
?8°C |
?8°C |
暂无数据
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