参考价栻/p>面议
型号
全自动纳米压印设夆/span>品牌
光舵微纳产地
广东样本
暂无动力类型９/p>其他
功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
生产能力（kg/h）：
-适用物料９/p>-
压制设备
全自动纳米压印设夆/p>
国产压制设备
看了全自动纳米压印设备的用户又看亅/p>
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1?/12兼容
兼容8inch?2inch基板，可便捷更换、/p>
2、模块化设计
1.整机采用模块化设计，集成EFEM、spin coater、HP、CP、NIL、Frame loading Unit、Pre-aligner、RF-reader等功能模块、/p>
2.可根据对量产能力的需求，增加子模块，具有良好的拓展性、/p>
3、高精度
1.压印*小线?0nm
2.深宽比达10?
3.与母版尺寸偏差＜3%
4.对位精度±2um
4、高量产能力
1.UPH 30
2.具备优良的稳定?/p>
5、全自动
1.配合光舵自研的智能操控软件，所有动作均可全自动完成、/p>
2.并提供实时监控画面，对重点过程做监控、/p>
6、高洁净等级
1.设备腔内环境可达到class 1
2.与母版的数据偏差?%
3.片间尺寸偏差?%
设备对位压印能力：≤2um
配合高精度平台，设备可提供稳定的对位能力，并完成偏心补偿
暂无数据
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工商已核宝/p>
