参考价栻/p>面议
型号
MYH-APS05品牌
产地
江苏样本
暂无
高级会员
|?平/p>|
生产啅/p>
工商已核宝/p>
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铭衍海微电子抛光
铭衍海微电子MYH-APS05
国产抛光
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氧化铜/span>抛光涱/span>MYH-APS05
铭衍海（常州）微电子氧化铜/span>抛光涱/span>MYH-APS05是一款专丹/span>半导体、光学及精密金属等高端制造场景研发的酸性氧化铝抛光涱/span>，以高纯?/span>α- 氧化铝为磨料，采用分散技术配制的稳定水性悬浮液。专为化学机械抛光（CMP）工艺设计，通过机械研磨+ 弱化学腐蚀的协同作用，实现低损伤、高效率的超精密表面平坦化处理、/span>
1.精密粒径控制
液体粑/span>徃/span>200-300nm，颗粒均匀无团聚、/span>
有效避免抛光划痕，确俜/span>亚纳米级表面粗糙度（Ra?.1nm）、/span>
2.高稳定悬浮体糺/span>
乳白艱/span>水?/span>液体＋/span>pH 4-7（弱酸性）、/span>
长期静置不易分层、沉淀，循环使用寿命长、/span>
3.高效低损伤抛先/span>
氧化铝硬度高（莫氏硬?/span> 9），切削力强励/span>，材料去除率稳定、/span>
弱酸性配方，化学作用温和＋/span>对基材损伤极導/span>，无腐蚀、无氧化、/span>
4.环保易清洖/span>
水性体系，无重金属、无挥发有机物（VOC（/span>、/span>
抛光后工仵/span>易冲洗、无残留，不影响后续制程、/span>
5.适配性强
兼容硅片、化合物半导体、光学玻璃、蓝宝石、精密金屝/span>等多种硬脆材料、/span>
适配中心加压、四角加压等各类自动/半自动抛光机、/span>
1.半导体晶圆制速/span>
硅片＇/span>Si（/span>９/span>8/12英寸晶圆的粗抛、精抛、终抛，实现表面全局平坦化、/span>
化合物半导体：碳化硅＇/span>SiC）、砷化镓＇/span>GaAs）等晶圆抛光、/span>
STI（浅槽隔离）：集成电路制造关键制程的介质层平坦化、/span>
2.光学与光通讯
光学玻璃、蓝宝石、激光晶体（YAG）的超精抛光、/span>
光纤连接器端面精密抛光，降低插损、回损，提升光信号传输质量、/span>
3.精密金属与电孏/span>
不锈钢、钛合金、铝合金等精密零部件的镜面抛光、/span>
精密模具、引线框架、电子陶瓷的表面精加工、/span>
根据粒径、固含量?/span>pH 值及应用场景，铭衍海氧化铝抛光液主要分为以下系列９/span>
MYH-APS05９/span>标准型，200-300nm，酸性，半导佒/span> /光学通用、/span>
MYH-AP02：纳米精抛型＋/span>50-100nm＋/span>超精密终抚/span>，适配原子级平整度要求、/span>
MYH-APS10：高浓度型，粗抛/高效去料，提升加工效率、/span>
MYH-APS5A：碱性版＋/span>金属/合金专用，化?/span>去除率更高、/span>
3.安全注意事项:操作时佩戴护目镜与耐酸碱手套，避免接触皮肤、眼睛；不慎接触立即用大量清水冲洗，严重时就医；废液按工业废水标准处理，禁止直排、/span>
暂无数据
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