参考价栻/p>面议
型号
MYH-SOP20品牌
铭衍浶/span>产地
江苏样本
暂无
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|?平/p>|
生产啅/p>
工商已核宝/p>
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铭衍海微电子抛光
铭衍海微电子MYH-SOP20
国产抛光
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氧化硅抛光液MYH-SOP20
MYH-SOP20是铭衍海＇/span>MYHMICRO）专丹/span>中精抚/span> / 次终抚/span>开发的20nm 高纯胶体二氧化硅抛光涱/span>，平衠/span>高去除率不/span>优异表面质量，适配半导体、光学、显示、蓝宝石、陶瓷等多领域精密平坦化加工，是兼顾效率与品质的高性价比选择、/span>
一?/span>产品参数
·型号９/span>MYH-SOP20
·pH 倻/span>９/span>9.0~10.5
·外观：半透明液体
·保质朞/span>：未开?/span> 6 个月
·包装９/span>1KG/桶，9KG/箰/span>
二?/span>特点
1.20nm 黄金粒径ヺ/span>高效精抛
粒径介于粗抛与终抛之间，去除率高＇/span>0.8?.2μm/min（/span>，快速消除粗抛痕迹，同时实现Ra?.5nm低粗糙度，兼顾效率与表面质量、/span>
2.单分散球形颗粑/span>ヺ/span>低缺陶/span>
颗粒球形度高、分布极窄，无尖锐棱角、无团聚，抛光后无划痕、无麻点、无亚表面损伣/span>，大幅降低良率损失、/span>
3.高纯环保ヺ/span>易清洗无残留
重金属离子＜100ppb＋/span>适配半导佒/span> / 光学严苛洁净要求；水性体系、不含机溶剂＋/span>后段清洗简協/span>，无残留污染，不影响下道工序、/span>
4.稳定性强ヺ/span>适配量产
配方抗沉降、抗剪切＋/span>长时间循环使用性能稳定；适配主流CMP 设备与抛光垫（聚氨酯、麂皮、无纺布），批量加工一致性好、/span>
5.国产替代ヺ/span>高性价毓/span>
性能对标进口20nm 级氧化硅抛光液，交期快、成本低30%?0%，支持免费试样、工艺调试与定制化开发、/span>
三、应用领埞/span>
1. 半导体微电子（次终抛 / 中精抛）
·应用：硅晶圆抛光?/span>ILD 层间介质 CMP、化合物半导体（GaAs/SiC）加工、功率半导体衬底平坦匕/span>
2. 光学元件精密抛光
·应用：光学玻璃、镜头、棱镜、滤光片、红外晶体、光纤连接器端面精抛
·优势：表面光滑、透光率高、无光学缺陷
光学镜头
3. 显示与消费电子玻璂/span>
·应用９/span>LCD/OLED 玻璃基板、手机盖板、车载屏幕、摄像头玻璃、手表镜面精抚/span>
·优势：高平坦度、高光泽、易清洗、外观质感佳
手机盖板玻璃
4. 蓝宝石与晶体材料
·应用９/span>LED 蓝宝石衬底、蓝宝石窗口片、铌酸锂 / 钽酸锂晶体、YAG 激光晶体抛先/span>
·优势：对硬脆材料去除稳定、低损伤、表面光洁度髗/span>
蓝宝石衬应/span>
5. 精密陶瓷与硬脆材斘/span>
·应用：氧化铝/ 氧化锆陶瓷、结构陶瓷、陶瓷轴承、密封件、石英晶体、微晶玻璃抛先/span>
·优势：高去除效率、无崩边、提升装配精度与耐磨?/span>
四、工艺参?/span>
使用方式：原液或1:1?:4 去离子水稀釉/span>
·抛光?/span>：聚氨酯垫、麂皮垫、无纺布?/span>
·抛光压力９/span>0.15?.3MPa
·抛光盘转逞/span>９/span>50?20rpm
·流量９/span>50?00mL/min
·后处琅/span>：去离子水冲洖/span> 中性清洗剂 超纯水漂 干燥
暂无数据
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