参考价栻/p>面议
型号
MYH-COPST品牌
铭衍浶/span>产地
江苏样本
暂无
高级会员
|?平/p>|
生产啅/p>
工商已核宝/p>
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铭衍海微电子抛光
铭衍海微电子MYH-COPST
国产抛光
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氧化铈抛光液MYH-COPST 产品详情
MYH-COPST?/span> MYHMICRO(铭衍海)出品的纳米氧化铇/span>水?/span>抛光液,专为光学玻璃、半导体、显示面板、汽车玻璃等硬脆材料超精密平坦化设计,核心优势为高去除速率、高选择比、低损伤、易清洗、稳定性强、/span>

一、产品参?/span>
基础理化参数
·产品型号9/span>MYH-COPST
·品牌9/span>MYHMICRO
·CAS 叶/span>9/span>1306-38-3(CeO₁/span>(/span>
·外观:粉红色液体
包装规格9/span>1KG/桶,
·产地:江苎/span>ヺ/span>常州
·安全?/span>:非危险品、水性环保、无腐蚀
·去除速率'/span>MRR(/span>:对SiO₁/span>/ 石英玻璃?00 nm/min(标准工艺)
·表面粗糙度(Ra(/span>9/span>?.1?.5 nm(精抛后,AFM 测量(/span>
·表面缺陷:零可见划痕、低亚表面损伣/span>
·清洗?/span>9/span>水?/span>易冲洗、无残留
二、产品特炸/span>
1. 高效化学机械协同抛光
采用CMP 化学机械协同原理,CeO₁/span>不/span> SiO₁/span>表面形成Ce-O-Si 桥键软化表层,配合纳米颗粒精准微磨削,实?/span>高切削力+ 低损伣/span>,抛光效率远优于纯机械研磨、/span>
2. 高选择性与高平坦度
对硅基材料(SiO₁/span>、石英、玻璃)去除极快,对Si、Si₂/span>N₃/span>、金属去除速率极低+/span>选择比>200:1,适配半导佒/span> STI、ILD 等高选择比场景;抛光后表靡/span>无橘皮、无麻点、平面度**、/span>
3. 优质颗粒与稳定分敢/span>
选用高纯度球形纳籲/span> CeO₁/span>,粒径分布窄、无大颗粒杂质,减少划痕风险;专用分散剂确保长期均匀悬浮、不沉降、不团聚,无需频繁搅拌,工艺稳定性高、/span>
铭衍海(常州)微电子可根据客户需求,提供定制匕/span>服务
源头工厂?/span>定制粒径、固含量?/span>pH、粘?/span>,精准匹配不同场景;切削寿命长、耗材成本位/span>,实现进口抛光液国产替代,性价比优势显著、/span>
三、应用领埞/span>
1. 光学玻璃与晶佒/span>
·光学元件:镜头、棱镜、滤光片?/span>K9 玻璃、硼硅玻璃、熔融石苰/span>
·晶体材料9/span>YAG、钛蓝宝石、石英晶体、蓝宝石(衬 / 窗口(/span>
·光纤/ 连接器:端面抛光、低损耖/span>
2. 半导体与微电孏/span>
·晶圆平坦化:STI 浅槽隔离、ILD 层间介质?D NAND
·光掩樠/span> / 光刻板:石英掩模无损伤精抚/span>
·化合物半导体9/span>SiC、GaN、蓝宝石衬底
3. 显示与触控面松/span>
·LCD/OLED 玻璃基板、TFT 面板
·手机/ 平板盖板玻璃、触控屏:去划痕、高光泽
4. 汽车与工业玻璂/span>
·汽车挡风玻璃:去划痕、去油膜、修夌/span>
·建筑/ 幕墙玻璃、仪表玻璃、光学视窖/span>
5. 精密陶瓷与硬脆材斘/span>
·结构陶瓷、透明陶瓷、精密轴承、切割刀牆/span>
四、使用建?/span>
1.稀釉/span>:原液使用或去离子水1:1?:3 稀释,搅拌均匀、/span>
2.抛光?/span>:推荐聚氨酯垫或麂皮垫(精抛)、/span>
3.工艺参数:压劚/span> 0.1?.3 MPa,转 800?500 rpm、/span>
4.后处琅/span>:抛后立即清水冲洗,必要时搭配中性清洗剂、/span>
5.储存:密封、避光、常温(5?5℃)储存,避免高温与阳光直射、/span>
五、注意事顸/span>
·操作时佩戴手套、防护眼镜,避免直接接触皮肤与眼睛;不慎接触立即用大量清水冲洖/span> 15 分钟以上,必要时就医、/span>
·禁止与强酸、强碱、易燃易爆物品混合存放,防止化学反应、/span>
·开封后少量分层,搅拌均匀即可正常使用,不影响性能、/span>
·保质朞/span> 6 个月(密封常温储存),过期按环保标准妥善处理、/span>
·车间保持良好通风,使用时勿进食、吸烟,避免儿童接触、/span>
·废弃抛光液勿直接排放,需符合当地环保标准处理、/span>
暂无数据
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