参考价栻/p>面议
型号
CXF-320/3001CVS品牌
kyky产地
北京样本
暂无
高级会员
|?平/p>|
生产啅/p>
工商已核宝/p>
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kyky泴/p>
kykyCXF-320/3001CVS
国产泴/p>
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产品特点
高性能气体输送涡轮叶牆/p>
耐反应产物沉积结构与功能
丰富的配件与可扩展?/p>
应用领域
光刻、物理气相沉 PVD、化学气相沉 CVD、离子刻蚀、平板显示、LED/OLED、等离子研究、粒子加速器
技术指栆/strong>
进气口法?/p> |
DN320 ISO-F |
加热温度 |
60?0ℂ/p> |
排气口法?/p> |
KF40 |
抽速速率（L/s（/p> |
N2:2950 Ar:2750 He: 2300 H2:1100 |
压缩毓/p> |
N2:1E8 Ar:1E8 He: 1E4 H2:1E3 |
极限压强（Pa（/p> |
1E-7（橡胶密封Rubber seal（/p> |
**瞬时入口流量（sccm（/p> |
2100 |
保护气入口法兰（选配（/p> |
KF10 |
推荐保护气体流量（sccm（/p> |
50 |
**允许磁场强度（mT（/p> |
径向Radial? 轴向 Axial?5 |
额定转速（RPM（/p> |
21000 |
启动时间（min（/p> |
? |
停机时间（min（/p> |
?2 |
冷却方式 |
水冷 |
冷却水流量（L/min（/p> |
3 |
冷却水温度（℃） |
20±5 |
电源电压（VAC（/p> |
220±10%?0Hz 110±10%?0Hz |
**功率（W（/p> |
1000 |
适配电源型号 |
CXFD-1001S |
控制线缆长度（m（/p> |
5?0（选配（/p> |
建议前级泵（L/s（/p> |
?0 |
重量（kg（/p> |
73（ISO-F（/p> |
尺寸
产品特?/strong>
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