参考价栻/p>1万元以下
型号
LY-Y2O3品牌
江丰产地
苏州样本
暂无纯度9/p>99.999%
目数9/p>30
其它金属粈/p>
LY-Y2O3
国产其它金属粈/p>
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高纯氧化钇Y2O3喷雾造粒 等离子喷涂粉 芯片刻蚀机防腐稀土金属粉?/p>
氧化钇Y2O3,喷雾造粒粉,等离子喷涂粉,热喷涂氧化钇粉,芯片刻蚀机涂层,稀土金属粉末,高纯氧化钇粉?/p>
厂家供应高纯氧化钇Y2O3喷雾造粒粉,球形流动性好,专为等离子喷涂、热喷涂工艺定制,芯片刻蚀机腔体防腐专用稀土金属粉末,耐等离子冲刷、耐腐蚀、纯度高,支持定制粒徃/p>
氧化钇Y2O3喷雾造粒粈/strong>是一款高端稀土金属喷涂粉末,采用湿法造粒+高温烧结工艺制成,粉体球形度高、流动性优异,是目剌strong>等离子喷涂、热喷涂工艺常用的半导体防护材料。本品纯度高?9.99%,化学性能稳定,专门适配芯片刻蚀朹/strong>内部腔体防护、等离子防腐涂层制作,可抵抗氟等离子、氯等离子强腐蚀环境,广泛应用于半导体晶圆制造、精密设备耐高温防腐领域、/p>
区别于普通破碎法氧化钇粉末,喷雾造粒氧化钇粉体颗粒均匀、送粉顺畅、喷涂上粉率高,喷涂成型涂层致密无气孔,硬度高、耐冲刷,是半导体刻蚀设备、真空镀膜设备、高温工业设备的优选防护喷涂材料、/p>
技术参?/p> |
标准指标 |
参数说明 |
|---|---|---|
产品牌号 |
Y2O3-SP |
喷雾造粒专用型号 |
氧化钇纯?/p> |
?9.99% |
超高纯半导体级别 |
粒径范围 |
15-45μm / 20-53μm(可定制(/p> |
适配等离子喷涂设夆/p> |
球形?/p> |
?3% |
流动性好,不易卡粈/p> |
松装密度 |
2.8-3.2g/cm³ |
喷涂堆积效果奼/p> |
涂层孔隙玆/p> |
?.5% |
致密防护层,防腐蚀 |
熔点温度 |
2410ℂ/p> |
耐高温、抗热震 |
制备工艺 |
喷雾干燥+高温烧结 |
高强度不易碎 |
本款氧化钇喷雾造粒粈/strong>精选高纯度稀土氧化钇原料,经过湿法球磨、浆料均质、高压喷雾干燥、高温烧结、气流筛分、除铁提纯多道工序加工而成。全程无尘车间生产,严控杂质含量,杜绝重金属、有害杂质混入,完全符合半导体行业原材料检测标准、/p>
加工后的粉体颗粒圆润饱满,无尖角碎粉,在等离子喷涂、大气热喷涂作业中送粉稳定,熔化均匀,喷涂成型涂层结合力强,不容易脱落起皮、/p>
Y2O3纯度达到99.99%,超低杂质,无重金属污染,不会在芯片刻蚀过程中产生粉尘颗粒物,大幅提高晶圆良品率,适配各类高端半导体精密设备、/p>
球形颗粒流动性强,适配国产、进口各类等离子喷涂设备,上粉率高、喷涂损耗低,涂层平整致密,耐摩擦、耐冲刷、/p>
针对芯片刻蚀机氟系、氯系等离子腐蚀环境优化配方,抗等离子轰击能力强,腔体涂层使用寿命是普通氧化铝涂层?-8倍、/p>
熔点高达2410℃,高温环境下不软化、不分解、不氧化,长期维持稳定物理化学性质,适配高温热喷涂工业场景、/p>
优质稀土金属粉末,无毒无害,无放射性,符合工业环保检测标准,可正规出口、国内工业批量使用、/p>
芯片刻蚀朹/strong>:腔体内壁、内衬、聚焦环、喷淋头等离子防腐涂屁/p>
半导体镀膜设备、PVD/CVD设备内部防护喷涂
精密半导体零部件耐高温、绝缘、防腐蚀涂层
等离子喷涂、大气热喷涂专用原材斘/p>
高温窑炉、冶金设备、锅炉耐热防护涂层
航空航天耐高温部件、精密模具防护层
特种陶瓷、电子陶瓷烧结原斘/p>
稀土新材料、实验室高纯试剂粉末
耐腐蚀化工设备、真空设备表面喷涁/p>
为保際strong>氧化钇喷雾造粒粈/strong>喷涂效果,推荐行业通用工艺参数,适合常规等离子喷涂设备:
喷涂方式:大气等离子喷涂 / 真空等离子喷涁/p>
喷涂功率?5-65KW
喷涂距离?10-160mm
送粉气量?-12L/min
适用基材:铝合金、不锈钢、特种合金金属基杏/p>
标准真空铝箔袋密封包装,外层防潮桶装,常规规格:500g/袋?kg/袋?kg/桶,大宗工业定制25kg桶装,可定制无尘高纯包装、/p>
存放于干燥、阴凉、通风室内,环境湿度≤60%:/p>
严禁受潮、淋雨、暴晒,粉体受潮易结块;
开封后尽快使用,剩余粉末需真空密封保存:/p>
远离酸碱化学品,禁止混存其他金属粉末、/p>
普通氧化钇粉末多为破碎不规则颗粒,流动性差、容易卡粉;喷雾造粒氧化钇为球形颗粒,流动?*,喷涂上粉率更高,涂层致密均匀,专门适配等离子喷涂、热喷涂,是芯片刻蚀机专用高端粉末、/p>
芯片刻蚀过程中会产生强腐蚀性等离子气体,普通金属、陶瓷涂层极易被腐蚀产生颗粒杂质;氧化钇稀土粉末耐等离子腐蚀能力极强,可减少晶圆污染,提高芯片生产良率,是半导体刻蚀设备刚需材料、/p>
支持定制,可生产5-20μm?5-45μm?0-53μm?5-105μm等不同粒径,适配不同型号热喷涂、等离子喷涂设备、/p>
每批次附带ICP成分检测报告、粒径检测报告、SEM形貌检测报告,高纯可控,支持第三方权威机构复检、/p>
本厂长期现货供应氧化钇Y2O3喷雾造粒粈/strong>,工业级、半导体级齐全,支持拿样测试、批量订货。全程专业密封包装,物流防摔防潮,质保无忧。免费提供喷涂工艺指导、材料选型建议,为客户解决热喷涂、芯片刻蚀设备涂层定制难题、/p>
氧化钇Y2O3、喷雾造粒粉、等离子喷涂粉末、热喷涂氧化钇、芯片刻蚀机涂层、稀土金属粉?/strong>
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