森泽常用器具/玻璃耗材
森泽MSP-8in
国产常用器具/玻璃耗材
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该装置是一种利用磁控靶进行金属涂层的设备。可用于处理?英寸晶圆这样的大面积样品,以及同时处理多个样品、/span>
MSP-8in的靶极电极能够沿着靶金属表面产生多层同心的磁场,通过这些磁场来捕获电子,从而提高用于使靶金属溅射的等离子体离子密度。磁场的强度经过精心设计,以确保从靶心到边缘处,沉积在靶上的金属膜厚度保持一致、/span>
该产品包含设备主体?块靶金属(请指定种类)、旋转泵以及SUS材质的柔性软管、/span>

超大容积 Φ230mm 样品腔体:可同时装载整片 8 英寸晶圆 + 数十片小型试样,兼顾大批量晶圆预处理与多品类科研试样同步检测;
精密针阀氩气稳压系统:精准控制腔内氩气分压,稳定等离子体,提升贵金属膜纯度,延长靶材使用寿命
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