参考价栻/p>1-5万元
型号
KT-Z1650PVD品牌
郑科採/span>产地
河南郑州样本
暂无专用设备
KT-Z1650PVD
国产专用设备
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一９/span>产品参数
产品名称：小型溅射仪
产品型号９/span>KT-Z1650PVD
产品品牌：郑科探Zhengketan
生产厂家：郑州科探仪器设备有限公号/span>
二：功能要求
KT-Z1650PVD是一款溅射功率可调的小型磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。且可加装膜厚仪来实时监测镀膜厚度，通过设定电流及时?厚度来调节溅射速率及薄膜沉积厚度，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明高鹏玻璃减少样品污染，腔体为铝合金一体成型来减少漏率，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，设备自带PID进气阀全程恒定调节镀膜真空、/span>
丈/span>９/span>主要技术要汁/span>
1：控制方弎/span> |
7寸人机界 自动模式 晶控模式（需配膜厚仪）切捡/span> |
2：镀膜方弎/span> |
真空直流磁控溅射镀膛/span> |
3：镀膜功胼/span> |
0-999秒可变换功率 及挡板复位和样品旋转 自动进气等程序控刵/span> |
4?*功率 |
?00W（电压≤1000V 电流?00mA) |
5: 极限真空 |
机械泴/span>?Pa? 钟） 分子泵≤5*10^-3Pa?0分钟（/span> |
6：挡板类垊/span> |
电控 |
7：镀膜靶杏/span> |
直径Ф50mm 厚度0.2-2mm |
8：镀膜真穹/span> |
?Pa |
9：溅射气佒/span> |
高纯氩气（自动进氓/span>/关闭 PID调节设置的真空度（/span> |
10：真空腔宣/span> |
高鹏硅玻璃罩+铝合金腔体样品台Ф160mm×170mm |
11：样品台 |
快速插拔式可旋?/span>φ75 ?*可安装?0样品（/span> |
12：样品台转逞/span> |
0-8?分钟 |
13：样品靶材距禺/span> |
40-70mm（可调节（/span> |
14：真空测野/span> |
电阻真空（测量范図/span>10E5Pa 1E-1Pa （/span> |
15：预留真空腔室接叢/span> |
KF40/KF25抽气 KF16真空计接口Q15放气 6mm快插进气 可扩展膜厚测量口 |
16９/span>产品重量 |
?/span>17KG |
可选配扩展（选配（/span> |
①机械真空泵抽?mm3/h（单设备?Pa(5分钟（/span> |
②分子泵机组（单设备可抽真空30分钟?*10^-3Pa（/span> |
|
③膜厚仪:(厚度范围0-10000A 厚度显示分辨?A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨?.1A 晶振频率6MHz（/span> |
|
主要配置要求 |
小型溅射?/span>KT-Z1650PVD 主机1 电源 合格 说明 保修卡各一?/span> |
KT-Z1650PVD是一款溅射功率可调的小型磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。且可加装膜厚仪来实时监测镀膜厚度，通过设定电流及时?厚度来调节溅射速率及薄膜沉积厚度，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明高鹏玻璃减少样品污染，腔体为铝合金一体成型来减少漏率，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，设备自带PID进气阀全程恒定调节镀膜真空
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