参考价栻/p>面议
型号
KT-Z1604T-RL品牌
产地
河南郑州样本
暂无半导体行业专用仪?/p>
KT-Z1604T-RL
国产半导体行业专用仪?/p>
看了真空探针台的用户又看亅/p>
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一:产品参?/span>
1产品名称:真空探针台
2产品型号9/span>KT-Z1604T-R/RL
3产品品牌:郑科探Zhengketan
4生产厂家:郑州科探仪器设备有限公号/span>
二:功能要求
KT-Z160T-RL该探针台的承载台丹/span>60x60不锈钢台面,台面**可升温到**400℃。低?190°C。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节,其中X方向调节范围??0mm;y方向调节范围??5mm;z方向调节范围??5mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测、/span>
丈/span>9/span>主要技术要汁/span>
1腔体材质9/span>304不锈钡/span>
2上盖开启:铰链侧开
3加热台材质:304不锈钡/span>
4内腔体尺寸:φ160x90mm
5观察窗尺寸:Φ70mm
6加热台尺寸:φ55×55mm
7观察窗热台间距:75mm
8加热台温度:-196?400ℂ/span>
9加热台温控误差:±1ℂ/span>
10样品台变温速率:高?/span>10?min 低温10?min **倻/span>
11温度显示9/span>7寸人机界靡/span>
12真空度:机械泴/span>?Pa分子泵≤10-3Pa
13允许正压9/span>?.01MPa
14真空抽气口:KF25真空法兰
15气体进气口:3mm-6mm卡套接头
16电学性能9/span>绝缘电阻?000MΩ介质耐压 ?00V漏电?/span>?00fA
17探针数量9/span>4探针(可选购5探针(/span>
18探针材质9/span>镀金钨钇/span>
19探针尖:10μm/50μm
20X轴移动行程: 30mm±15mm
21X轴控制精度:?.01mm
22Y轴移动行程:25mm±12.5mm
23Y轴控制精度:?.01mm
24Z轴移动行程:25mm±12.5mm
25Z轴控制精度:?.01mm
四:主要配置
1.1台真空探针台KT-Z1604T-R/RL
2 . 1台触摸屏温控箰/span>
3. 1根电源线
4. 1根触摸屏笓/span>
5. 1 功率输出纾/span>
6. 一套K型上盖扳手、备用螺丝、内六角扳手
选配:分子泵机械泴/span>CCD相机 真空 气浮 源表
暂无数据
真空探针台的工作原理介绍>/li>
真空探针台的使用方法>/li>
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