参考价栻/p>面议
型号
WG-1251全自动减薄机品牌
宏华电子产地
广东样本
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技术特点：
利用粗磨和精磨轨迹重合技术，显著提高了超薄晶圆磨削加工品质的稳定性，可实 12 英寸晶圆厚度100μm 以下精密减薄：br style="box-sizing: border-box;"/> 双主轴三工位全自动减薄机，可与单轴抛光机、保护膜处理设备组成联机系统，实现晶圆减薄到去应力技术的一体化；配备自主、优化的 12 英寸超精密空气主轴和气浮载台；具 SECS/GEM 联网功能、/span>
性能指标９/span>
| WG-1251自动减薄朹/span> | |||
| 磨削方式 | 通过旋转晶圆，实现纵向切入式磨削 | ||
| 结构方式 | 1根主? 3个承片台,1回转工作?/span> | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.Ø300(Φ8?Φ12? | |
| 磨轮直径 | mm | Φ300 | |
| 主轴 | 主轴数量 | - | 2 |
| 主轴功率 | KW | 7.5 | |
| 主轴转逞/td> | rpm | 1000-4000 | |
| Z轴行稊/td> | mm | 120 | |
| Z轴分辨率 | µm | 0.1 | |
| 承片?/td> | 装片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片台类垊/td> | - | 多孔陶瓷式（8/12寸兼容） | |
| 转逞/span> | rpm | 0-300 | |
| 承片台数野/td> | 奖/td> | 3 | |
| 减薄精度 | 片内厚度偏差 | µm | ? |
| 片间厚度偏差 | µm | ≤? | |
| 表面粗糙度斤 | µm | ?.002(#20000 wheel,Si) | |
| 设备 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1445×3330×1895 |
| 设备重量 | kg | ?700 | |
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高端装备制造作为国家产业升级和科技创新的关键产业，正在引领全球经济的新一轮变革，它不仅代表着一个国家的工业实力，更是衡量其在全球产业链中位置的重要标志?nbsp;根据国家知识产权局办公室印发的《战?/p>
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