参考价栻/p>1万元以下
型号
ESC-500 垊/span>品牌
产地
日本样本
暂无森泽半导体行业专用仪?/p>
森泽ESC-500 垊/p>
国产半导体行业专用仪?/p>
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内部电极
嵌入在绝缘体内部的正/负极,通过施加电压来产生静电力?nbsp;
加热机制(根据需要)
为控制晶圆的温度,会内置加热器、/span>
Micro-tec ESC-500是专丹strong>半导体静电卡 ESC 制速/strong>开发的专用精密丝网印刷设备,适配MAX 12 英寸陶瓷基板制程,用于静电卡盘内部电极层、介质浆料图形的精密印刷成型 设备搭载静电吸附工作台,依靠正负电压施加产生静电力固定陶瓷基材;标配双向离模机构,刮刀行进速度、刮刀下压量、工作台吸附力均可独立调节并存储为工艺配方,方便多批次生产复现。可选配基板加热模块,满足特定浆料的温控印刷需求;整机采用洁净钣金设计,适配半导体洁净车间环境,可稳定完成导电浆料、介电浆料的微图形印刷,是静电卡盘核心电极成型工序的专用设备 主要用于半导体静电吸盘(ESC)、微电子精密陶瓷元件的电极图形制作,适配半导体装备核心零部件的中试与量产制程、/span>
【规格【/strong>
・打印范围:适用?2英寸
·双向启停机构
・滑板速度可调节(可通过配方设置(/span>
・刮刀压紧力度可调节(可通过配方设置(/span>
・工作台吸力可调节(可通过配方设置(/span>
? 产品特点专为半导体静电卡 ESC 电极印刷定制面向静电吸盘内部导电电极、介电层浆料成型开发,匹配 ESC 核心层结构制造工艺、strong>静电吸附工作台,降低基板夹持损伤采用静电吸附固定陶瓷基板,无机械夹边应力,减少薄型陶瓷基板形变、崩边风险、strong>双向离模结构,保障薄浆层印刷均匀?/strong>可控双向离模动作,抑制浆料拉丝、图案变形,提升电极薄膜厚度与图形一致性、strong>全参数配方管理,工艺可复?/strong>刮刀速度、下压量、吸附压力等参数可保存为多套配方,便于换型、量产工艺稳定管控、strong>可选基板加热模块,适配热敏浆料选配内置加热机构,可管控基板温度,适配不同粘度、固化特性的导电 / 介电浆料、strong>洁净型整机设计,适配半导体产线环墂/strong>封闭式防尘柜体,适配洁净车间部署,降低印刷环节异物污染,满足半导体零部件质控要求、/span>
针对静电卡盘内部电极层印刷开发,适配陶瓷基材,用 ESC 核心导电 / 介电层图形成型
一、工艺痛点静电卡盘(ESC)制造中,陶瓷生片电极印刷常见难点:大尺寸生瓷片薄、易形变,普通真空吸附易造成薄片翘曲、对位偏移电极层厚度不均、离模拉扯导致线条毛刺、断线,直接影响静电吸附均匀性浆料(导电
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一、工艺痛点贵金属首饰滚筒抛光工序常见难题:频繁抛光工况下,磨 / 磨头损耗快,传统机型拆装更换耗时,停机久、产能低金银软质贵金属易过抛、边角塌边,转速与翻滚状态不好管控,成品光泽不均小件戒指、吊坟/p>
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