参考价栻/p>1万元以下
型号
DMC?3垊/span>品牌
产地
日本样本
暂无森泽测量/计量仪器
森泽DMC?3垊/p>
国产测量/计量仪器
看了日本JUSTEM 直径测量 DMC?3 晶圆光学非接触测量缺口平边角度的用户又看亅/p>
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咨询日本JUSTEM 直径测量 DMC?3 晶圆光学非接触测量缺口平边角?/p>
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概要:该设备利用绿色LED光来检测晶圆端面,再通过与校准用晶圆(基准晶圆)进行比较,从而测定晶圆的直径、/span>
工作尺寸:????英寸
工程:包装工庎/span>
晶圆厚度?50 ~ 725微米
业界:电子部仵/span>
素材:SiC
特征1
手动操作测量台,?0°为间隔,对包括A直径?个点)以及B直径(节流孔部位)在内的18?6个点进行测量、/span>
特征2
由此可以减少以往使用卡尺等工具进行测量时,操作人员带来的测量误差、/span>
特征3
还可以计算平均直径值、MAX直径值、MIN直径值、相对标准偏差等,并以Excel格式保存、/span>
| 目标作品 | SiC |
|---|---|
| 工作尺寸 | φ3???英寸 |
| 工件厚度 | 150 ~ 725微米 |
| 设备形式 | 卓上弎/span> |
| 设置环境 | 1000?/span> |
| 装置尺寸 | ?57毫米 × ?40毫米 × ?45毫米 |
| 装置重量 | 60公斤 |
| 电源电压 | 单相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 测量传感?/span> | 光学式传感器 |
| 测量精度 | 重复5欠/span> 测量值偏差在±6μm以内 |
一机同时完成晶圆外径直径、Notch 缺口、Flat 平边角度位置检测,一机多项检
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