技术参数：

1、真空度：极限真空度5*10-3Pa （不通氩气）：�/span>

2�?高压：（1�?00~10000V：�/span>

3、样品台可旋�?span style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); font-family: 微软雅黑;">：�/span>

4、具有自保护功能：�/span>

5、双离子枪可独立控制：�/span>

6�?/span>样品冷却：半导体冷却� 选配件）、�/span>