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北京艾博智业离子技术有限公号/b>
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技术参数：
输入电压 |
AC220V±10%?0Hz |
工作电压 |
DC2400V |
**功率（主机与机械泵） |
500W |
| 工作原理 |
直流溅射 |
可选靶杏/span> |
金、铂、银、铜、铝、铅等常用金屝/span> |
真空泴/span> |
两级直联旋片式真空泵 1L/s |
真空腓/span> |
φ128×130mm |
样品?/span> |
φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整机尺寸（长×宽×高（/span> |
424×271×255（mm（/span> |
重量（主机） |
11 kg |
工作环境 |
温度 5?0℃，湿度<60% |
存储环境 |
温度-10~60℃，湿度<80% |
工作气体 |
Air / Ar |
保护功能 |
过流、真空双保护 |
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