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钙钛矿光伏原子层沉积系统
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TALD数字系列及Batch系列原子层沉积系统是科民电子专门为钙钛矿传输层和Al2O3工艺开发的薄膜沉积系统。系统充分考虑钙钛矿功能层基片不耐温、尺寸大的特点，?019年起作为独立的产品系列开始研发，经过多轮优化后拥有了高产品质量、高性价比的优点，交付数量已接近100台、/p>

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