该系统可以作为以下功能装置：

1，研发级R&D镀膜设备，性能优异

2，具备所有研发级别的镀膜要汁�/span>

3，高效的沉积速率，镀膜时间快

4� 实验室中培训�?*工具

主要的特点和先进的功能：

1� 台式，小型，快逞�/span>

2，全自动化程序控刵�/span>

3，单靶或多靶联合溅射镀膜，多路气体管路

4，共聚焦设计，靶枪尺寸：2英寸�?英寸�?英寸，衬底可做到200mm，旋�?-20RPM，以及Load-lock配置

5，配置干�?分子泵，可达高真空，适用高品质薄膜沉积、�/span>

6� 可做直流溅射，射频溅射，100W射频偏压（用于衬底表面清洗）

性能价格比高！！