产品介绍９/p>
放置2时蓝宝石衬底，用于生长深紫外 LED的外延片
适用机型９/p>
AIX CCS
产品参数９/p>
基材：等静压石墨(纯度 >6N)
涂层：B-SiC(厚度=110±10 um)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力弹/p>
使用寿命?gt;50Run
