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山东力冠微电子装备有限公号/b>
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产品分类
产品简今/div>
技术指?Technical Indicators９/span>
晶片尺寸: 4/6英寸 Wafer size: 4/6 inches |
工作温度范围: 800-2000°C Perating temperature range: 800-2000°C |
装片野 50/80牆/p> Loading capacity: 50/80 tablets |
应用范围/Scope９/span>
用于SiC基半导体材料的离子激活和退火处琅/p>
lon activation and annealing treatment for SiC-based semiconductor materials
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