上海提牛科技股份有限公司成立�?004�?0月，坐落在中国上海市奉贤区，致力于半导体湿制程领域设备和中央供液系统(CDS)的研发、生产、销售和服务、�/p>

公司被认定为国家级专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业，上海市创新型中小企业、上海市"专精特新"中小企业和上海市科技小巨人企业。主要从事半导体湿制程领域设�?6-12�?妁�集成电路、大硅片材料、碳化硅等制程中的湿法刻蚀清洗设备。高端湿法刻蚀清洗设备�?006年开启新篇章，提供给客户从设计、制造、组装、调试、测试、售后一体化服务、�/p>

�?010年以来，实施SEMIS2标准，以满足客户高品质需汁�先后导入了ERP管理系统和IS09001�?S014001、IS045001管理体系为生产管理保驾护航、�/p>

1�?/span>槽式湿法刻蚀清洗设备

以纯水、酸性药液或有机试剂作为清洗剂，采用喷淋、热浸等清洗方式，对晶圆进行批量清洗；设备运用了公司自主设计的AWB框架，占地面积与行业内相同机台相比小20%左右，同时可有效防止机台因焊接老化而漏水漏酸；可根据客户要求定制化设计，搭配使用无片架清洗技术、高产能排程技术、IPA干燥技术、芯片减薄后清洗与干燥技术，清洗效果好、效率高。公司此类设备成熟稳定，设备破片率小于万分之一、�/span>

用于晶圆制造中薄膜沉积前后、干法刻蚀前、离子注入后、研磨前后、退火前后、抛光前后清洗以及化学湿法刻蚀清洗等、�/span>

2�?/strong> 部件清洗设备

采用纯水、酸性等药液，对生产中所用陶瓷盘、炉管、离子注入机部件、CVD部件、PVC部件等其他零部件进行清洗,能够根据不同尺寸的零部件设计不同的清洗模式，高效去除部件上的沾污，清洗效果好，清洗效率高、�/span>

用于晶圆制造及光伏、LED等领域制造过程中使用的零部件的清洗、�/span>

3、化学品供液设备（CDS（�/strong>

以软件程序控制为核心，可与生产设备信息互通，根据客户所需比例自动化精准配比与混合供酸，将集中储存的液体以稳定的流量、流速和达到设定要求的压力，实现液体供应至工艺设备，且不会造成液体泄露，在供应输送过程中不会对设备产生二次污染、�/span>

可应用于半导体、LED、光伏、显示屏等领域、�/span>