1 平/span>

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已认?/p>

立式炈/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 电子科技
产地9/td> 湖南
关注度: 552
型号9/td> 立式炈/td>
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

温控精度9span>≤?ℂ/span>

最高温度:1100ℂ/span>

产品介绍
  • 序号

    指标名称

    主要技术指栆/span>

    1

    晶圆尺寸

    8英寸

    2

    **温度

    1100℃(石英(/span>

    1250℃(碳化硅)

    3

    控温精度

    ≤°/span>0.5ℂ/span>

    4

    温度均匀?/span>

    ≤°/span>1ℂ/span>

    5

    升温速率

    0-10ℂ/span>/min

    6

    **装载野/span>

    170牆/span>

    7

    有效工作区域

    Φ230mm×780mm

    8

    温区数量

    5

    9

    气路数量

    4

    10

    片内均匀性(WIW(/span>

    ≣/span>2%

    11

    片间均匀性(WTW(/span>

    ≣/span>2%

    12

    批间均匀性(RTR(/span>

    ≣/span>2%

    13

    新增颗粒

    ≣/span>50(≥0.16μm(/span>

    ≣/span>30(≥0.2μm(/span>

    14

    金属污染

    <5E10 atms/cm2



问商宵/div>
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中国电子科技集团公司第四十八研究所为您提供电子科技立式炉,立式炉产地为湖南,属于粉体焙烧炉,除了立式炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供磁控溅射沉积设备、NV-150型MBE系统、全自动气氛保护锂电池材料烧结推板窑炉
工商信息
企业名称

中国电子科技集团公司第四十八研究所

企业类型

信用代码

81430000740639352P

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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