采用感应加热方式，在石英�?不锈钢腔体内以物理气相传输法（PVT）生长高纯SiC晶体、�/p>

性能优势

下进料方式，利于实现工厂自动化、�/p>

热场旋转，升降式线圈，用于调整温度场、�/p>

自主研发异地网络远程监控操作系统，实现长晶过程的全自动控制；

分级权限，便于工艺参数管理；

远程 控制，实现无人值守、�/p>

温度、压力控制的稳定性；重复定位的准确性；快速抽空及长时间真空保压、�/p>

布局紧凑合理，整机呈框架式结构，将电控箱、加热电源巧妙集成于一体、�/p>

电动升降上下料，托盘降至*低位置后可水平移出，电动升降炉盖，省时省力，安全可靠、�/p>

配置两路真空系统，高精度用于晶体生长的压力控制，普通精度用于抽真空、�/p>