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单面精密晶圆铜抛朹/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 梦启半导佒/td>
产地9/td> 广东
关注度: 515
型号9/td> 单面精密晶圆铜抛朹/td>
产品介绍

设备优势

本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和多种先进控制方法。研磨加工效率高,运行稳定、/p>


整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统运行稳定性高、/p>


主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤、/p>


工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性、/p>


上压盘采用主动驱动方式,在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性、/p>


研磨盘冷却水冷却功能,在保证研磨液发?*效率的同时减少研磨盘面的变形、/p>


设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度、/p>


性能参数

参数名称 单位 DL-ST855/4L
主电溏/td> V 三相 380
主电机功玆/td> KW 15
修面机功玆/td> KW 0.2
修面速度 mm/min 0~180
主电机转逞/td> RPM 0~110
上盘驱动电机转逞/td> RPM 0~70
研磨盘尺寷/td> mm 855
加工尺寸 寷/td> 2-8
工作工位 练/td> 4
工件盘尺寷br/> mm Φ305x15
单工位压劚/td> Kg 20~300
抛光液流逞/td> L/min 15(可调)
主盘温度检浊/td> ?/td> ±5
设备尺寸(W x D x H(/td> mm 1200x2150x2250
设备重量 Kg ?600


问商宵/div>
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深圳市梦启半导体装备有限公司为您提供梦启半导体单面精密晶圆铜抛机,单面精密晶圆铜抛机产地为广东,属于半导体行业专用仪器,除了单面精密晶圆铜抛机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供单工位减薄机、单面CMP抛光机、全自动高速Micro LED芯片分选机
工商信息
企业名称

深圳市梦启半导体装备有限公司

企业类型

信用代码

91440300MA5GLNRF27

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