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光学缺陷检测设备——WSD系列

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品牌９�/td>	睿励科学
产地９�/td>	上海
关注度：	65
型号９�/td>	光学缺陷检测设备——WSD系列

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产品介绍

WSD系列产品是睿励科学仪�?上海)有限公司自主研发、生产的全自动晶圆外观缺陷检测设备、�/span>

设备的基本检测原理是利用光学系统成像、通过图像分析的方式来捕抓并分类各种晶圆表面的缺陷、�/span>

该系列产品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型号产品＋�/span>

适用于集成电路制造、化合物半导体等领域、�/span>

主要特点９�/span>

l 支持6/8/12吋wafer

l 可定制化兼容Frame产品

l 支持透明/非透明衬底片检浊�/span>

l 可检测缺陷类垊�颗粒、污染、图形缺少、划伤、图形黏连、残留等

l 具备晶圆全表面检测、自动缺陷检测分类以及高分辨率的缺陷复查功能

问商宵�/div>

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工商信息

企业名称

睿励科学仪器（上海）有限公司

企业类型

信用代码

91310000774781787F

法人代表

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注册资本

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