加工能力

(**工件尺寸)

**尺寸500mm×500mm

**厚度80mm

可加工面彡�/span>

平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面筈�/span>

可加工材斘�/span>

石英、微晶�?/span>ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅筈�/span>

可加工精�?/span>

X轴行稊�/span>

�?00mm

Y轴行稊�/span>

�?00mm

Z轴行稊�/span>

�?00mm

离子溏�/span>

德国射频离子溏�/span>

中和�?/span>

德国

工作真空建立时间

�?小时

副室真空建立时间

�?5分钟

保护功能

具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故保护、离子源故障保护筈�/span>

智能功能

具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能

外形尺寸

2.5m×2.5m×2.5m

整机重量

5�?/span>

能耗功玆�/span>

Max.12KW, Avg.5kW