加工能力

(**工件尺寸)

**尺寸1300mmmm×1300mmmm

**厚度300mm�?*重量700kg

可加工面彡�/span>

平面、球面、非球面、离轴非球面及自由曲面等

可加工材斘�/span>

石英、微晶�?/span>ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅筈�/span>

可加工精�?/span>

X轴行稊�/span>

�?350mm

Y轴行稊�/span>

�?350mm

Z轴行稊�/span>

�?00mm

离子溏�/span>

德国射频离子溏�/span>

中和�?/span>

德国

工作真空建立时间

≣�/span>2小时

副室真空建立时间

�?5分钟

保护功能

具限位防护、工件防护�?/span>Y轴同步保护、紧急停止、电气安全保护、真空系统安全保护、离子束抛光工艺安全保护筈�/span>

智能功能

具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能

外形尺寸

6.2m×4.0m×2.69m

整机重量

15�?/span>

能耗功玆�/span>

总功玆�/span>23kW