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全自动双轴晶圆切�?TS861

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品牌９�/td>	博磊精密
产地９�/td>	江苏
关注度：	276
型号９�/td>	全自动双轴晶圆切�?TS861

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产品介绍

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切割部二流体喷嘴、�/span>
Spinner部二流体喷嘴、�/span>
工作盘水帘来防止因微粒干燥所引起的硬化、�/span>
强抽风管（主轴）、�/span>

标配功能

自动刀痕校正（Auto Kerf Check）、�/span>
非接触式刀高测量（NCS，Non-Contact Setup）、�/span>
刀片断裂检测（Blade Broken Detector）、�/span>
二流体喷嘴、�/span>

规格		单位	TS861
规格		单位	(1.2/1.8/2.4Kw)
**工作范围		mm	Φ200/Φ150
X-axis	Cutting range	mm	210/160
X-axis	Cutting speed	mm/sec	0.1-1,000
Y1、Y2-axis	Cutting range	mm	210
	Index step	mm	0.0001
	Index positioning accuracy	mm	0.003/210
	Index positioning accuracy	mm	0.002/5(Single error)
Z-axis	Max. stroke	mm	14.2(Forφ2”blade)
	Moving resolution	mm	0.0000003(24bit)
	Repeatability accuracy	mm	0.001
ϴ-axis	Max. rotating angle	deg	380
Spindle	Rated torque	N．m	0.27
Spindle	Revolution speed range	rpm	6,000-60,000
Machine dimensions (W x D x H)		mm	1,250 x 1,600 x 1,890
Machine weight		kg	2,000

问商宵�/div>

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工商信息

企业名称

博磊精密设备（苏州）有限公司

企业类型

信用代码

91320594784380725N

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