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冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光朹/div>
报价9span>面议
品牌9/td>
产地9/td> 日本
关注度: 264
型号9/td> SPP800S
产品介绍

SPP800S 是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏,使用操作方便、/span>


产品特点

SPP800S 是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏,使用操作方便、/p>



性能参数

项目 参数

加工材料

硅晶片、电子部品、脆性材斘/p>

适用晶圆尺寸

3 - 8 英寸

设备尺寸

1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H)

厂务条件

10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz

压缩空气压力

?.0 Kg/cm?

去离子水压力 1.0-1.5Kg/cm?
去离子水流量 5 ?分钟
排气野/td> 3m?/分钟
冷却水(真空泵用(/td> 压力?.0Kg/cm?
流量 大于3 ?分钟
冷却水(抛光定盘冷却系统用) 2.0Kg/cm?
流量 大于3 ?分钟



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工商信息
企业名称

一桥半导体科技(苏州)有限公司

企业类型

信用代码

91320594MAC2JX151C

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