ATS 500设计用于OLED、有机电子应用、光伏、半导体器件、透镜和光学滤波器的研发和小批量生产、�/span>

系统特色是配有全彩触摸屏的PLC，集成了工艺菜单控制和数据记录功能，可以选配全电脑控制、�/span>

ATS 500提供广泛的工艺选项，包括：

• 热阻蒸发源、�/span>

• 温度控制蒸发源，用于OLED和有机光伏应用、�/span>

• 电子束蒸发源，用于高速率蒸发、�/span>

• 离子束辅助，用于光学应用或者基板清洗、�/span>

• DC、RF和脉冲DC源，用于金属和电解质向上或者向下的溅射工艺、�/span>

• 以上丣�span style="display: inline-block; position: relative;">个或者多个功能的混合系统