从颗粒检测到材料溯源，清洁度设备如何科学选型＞�/h1>

2026-02-28
来源９�/span>复纳科学仪器（上海）有限公司

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标签 复纳科学仪器 飞纳电镜 飞纳扫描电镜

在锂电、汽车、钢铁与半导体等高端制造领域，微米级颗粒与非金属夹杂物已成为影响可靠性、良率与产品寿命的关键因素。清洁度不再只是检测项目，而是企业核心竞争力的重要组成部分。科学选型，决定质量上限、�/p>

01.锂电清洁度管�?/strong>

ParticleX Battery 全自动锂电清洁度检浊�/strong>

【行业标准【�/strong>

锂电池中的铜、锌、铁等金属异物可能导致严重的安全事故，对金属异物的管控也已成为行业共识。飞纳电� ParticleX Battery 全自动锂电清洁度分析系统，基于扫描电� + 能谱法可自动识别、分析和统计铜、锌、铁等金属异物，进而帮助分析异物来源，改善生产条件，减少安全事故的发生�?nbsp;

• 全自动识别、分析、统计铜（Cu�?锌（Zn）等金属异物

• ??7x24h 无人值守，隔夜分枏�/p>

• ??定制化分析程序，满足各类

磷酸铁锂扫描电镜国�/p>

金属异物的统计结果（筛分法）

金属异物的平均成分（筛分法）

自动获取的磷化铁的详细信�?/p>

02.汽车清洁度管�?/strong>

ParticleX AC 全自动汽车清洁度检测【电镜法【�/strong>

ParticleX 全自动汽车清洁度分析系统通过 SEM-EDS 自动化实现颗粒的尺寸、形貌与化学成分分析，被认为是目�?amp;ldquo;最有效的清洁度检测方法之一”，能够生成符� ISO/VDA 标准的标准化报告，显著提升颗粒污染可溯源性和检测效率、�/p>

• 基于 SEM � EDS 成分分析

• 符合 VDA19 � ISO16232 标准

• 7X24h 全自动分枏�/p>

• 自动检� SiO� AlO 等硬质颗粒并分类

从研发到生产，ParticleX AC 提供的定量数据快速、准确又可靠，一键导出报告的功能更是省时省力。目前，奔驰、宝马、博泽、三电、三芰�/strong>等国内外知名车企都已投入使用、�/p>

MicroQuick 高性价比清洁度快速分析仪

MicroQuick 颗粒扫描仪由 RJL 公司开发，用于快速分析零部件的清洁度。该方法已成为行业标准已� 15 年多的历史，并且符合 VDA-19.1 � ISO-16232 标准。这款高分辨率颗粒扫描仪能够在不� 3 分钟的时间内自动确定残留污染物颗粒的数量、大小、形状以及金属光泽、�/p>

• 行业标准：符� VDA19 / ISO16232

• 快速简便：2.5 分钟内完成过滤分析并生成报告

• 绝对可靠�?0 年内零维修案侊�/p>

• “�?amp;rdquo;维护：自行校准，自动生成审计报告

03.钢铁夹杂物检浊�/strong>

ParticleX Steel 全自动钢铁夹杂物分析

ParticleX Steel 实现了从样品制备、图像采集、成分分析到报告生成的全流程自动化、�strong>技术突砳�/strong>在于将扫描电镜与能谱仪一体化集成，能够自动识别、分析数万至数十万个夹杂物颗粒，并依据国际标准进行分类统计。ParticleX 全自动夹杂物分析系统可对大尺寸样品进行原位统计，输出夹杂物数量、尺寸分布、体积分数及三元相图成分分布等结果。相比手动分析，效率提升 10 倍以上，且支持一键定位异常夹杂物进行深度分析、�/p>

通过 ParticleX Steel，可以获得如下结果：

01.大量夹杂物的形貌，尺寸，成分，以及分籺�/h3>

02.各类夹杂物的分布情况（按数量分布（�/h3>

03.不同种类夹杂物的成分及含量信息（均值）

04.将夹杂物的组成分布体现在自定义的三元分布国�/h3>

05.极值分析，预测最大夹杂物尺寸

06.重新定位特定夹杂物，成分面分布扫揎�/h3>

钢铁行业部分用户

04.Fastmicro 洁净室与制程监控

环境落尘颗粒实时监控� PFS

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5μm 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据、�/p>

• 符合 ISO 14644-17 标准

• 可检测低� 0.5μm 颗粒

• 10 秒完� 2 英寸面积检浊�/p>

• 适用于真空与常压环境

仪器表面颗粒物分析仪 SAS

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪，是一款基�?amp;ldquo;胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具，可通过间接测量方式识别小至 0.5μm 的颗粒污染物。其配备的专� PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完� 225mm 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭� 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂场景的检测需求、�/p>

• 符合 ISO 14644-9 标准

• 可检测低� 0.5μm 颗粒

• 90% 采集效率 | >90% 重复�?/p>

• 10 秒完成检浊�/p>

• ASML 也在用！

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到�?amp;ldquo;作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认� Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界�?amp;rdquo;

复纳科学仪器（上海）有限公司

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