A4 series
节能干燥多级罗茨泵，适用于所有半导体和涂层应用、/span>
新一代苛刻的工艺流程泴/span>
普发真空引入了新的A4系列。半导体生产中苛刻的工作流程总是给真空泵带来新的挑战。基于已证明和节能的多阶段根系技术，A4系列提供了一系列的干泵解决方案，不同的泵送速度?00?300 m3/h。与以往的工艺泵相比，为了满?0纳米技术节点和以下?*要求，腐蚀和副产物的冷凝性能得到了显著的提高。在延长的工艺寿命与低能耗相关联的情况下，A4系列泵是在市场中成本*低的、/span>
为多个应用程序提供完整的解决方案
我们的新A4系列包括两款产品线，它们完全与前系列产品的泵完全兼容。我们提供了三种用于非关键应用程序的泵模型和十种不同的模型供您选择，用于在关键应用程序中进?严酷的处理、/span>
延长工作温度范围
泵配备有扩展温度管理装置，其覆盖低至高的操作温度，以防止泵内的副产物沉积或破裂。与高温精密轴承相关，提高了工艺的可靠性、/span>
高耐蚀?/span>
使用耐腐蚀材料，我们的A4X系列泵的寿命大幅度地提高了——在某些工艺过程中高?倍。这使得这些干泵成为了化学汽相淀积和腐蚀处理?*选择、/span>
CVD应用***的解决方桇/span>
由于采用了多级罗茨泵技术和高效率发动机，在工艺操作中，A4系列的功耗是其同类产品中*低的一个。结合了闲置模式的能力和用户友好的转速调整，这些干泵的使用支?*的降低运营成本、/span>
智能
A4系列配备了新的精密监测系统，包括新的功能，以改善故障的发生，并防止在过程操作过程中产生晶片碎片、/span>
维修费用位/span>
通过改进粒子耐受性，腐蚀和冷凝阻力，可以延长维修间隔和泵的寿命，这意味着额外的操作成本降低了。不需要现场例行维护、/span>
客户受益
高能源效率得益于多阶段的技术，高效的马达和有限的电加热?/span>
广泛的操作温度范围保护泵不受前体破裂或凝缩沉积作用的阻碍
延长寿命的耐腐蚀材料
高平均无故障时间和低拥有成本
高粒子宽容增加正常运行时间的工具
扩展的监视功能可以更好地控制泵的状况
Semi S2和UL兼容
尺寸
A 124 H A 204 H/X
A 604 H A 804 H/X
A 1204 H A 1504 H/X A 1804 H/X A 2404 H/X
抽速对毓/span>
ADH 系列
用于**工艺应用的新型高性能干式泴/span>
新型高性能干式泴/strong>
ADH 系列专门为太阳能、半导体 LED 市场的苛刻工艺应用而开发，为N2 H2提供 600 4?00 m3/h 的高性能抽速、/span>
半导体： H2高抽逞/span>
ADH系列产品性能为您的工艺带来以下优势：
ALD工艺处理量：小分子气体的高抽速效率可以允许更快的在工艺步骤之间排空腔室、/span>
外延和EUV：高抽速和大流量公差符?苛刻的工艺规范、/span>
太阳能和LED：氢气准备就?/span>
ADH系列为太阳能（a-Si -Si PECVD）以及LED（MOCVDGaN，AlGaAs，AlGalnP...）提?*的氢气抽送效率、/span>
无中间维抣/span>
所有轴承均经过了油润滑，不需要现场维护。通过改善粉末耐受性和冷凝管理，实现了较长的维护间隔以及泵寿命延长，这意味着降低了运行成本、/span>
对工艺副产物的高耐受?/span>
泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫，以防止粉末积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉末，保证良好的重启能力。此外，精心挑选的材料可以承受腐蚀性化学清洗剂。ADH系列采用全新的监控系统进行升级，其功能有助于提高工艺可靠性、/span>
用于低COO的高效率
在泵不用于该工艺时，智能模式可通过降低功率和氮消耗降低运行成本。得益于优化的设计，泵在同级抽送性能水平中可提供市场?*的功耗。优化的设计还可以降低发热量，从而降低冷却水流量、/span>
坚固、安?/span>
ADH系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行爆炸性气体（如氢气和硅烷）的应用时具?*水平的安全性、/span>
应用领域
半导 平板显示 太阳能电 LED
客户受益
高达4?00 m3/h 的抽速，?span>N2 H2中具有较高的性能
使用50?0Hz电源具有相同的性能
得益于润滑的轴承以及对工艺副产品的高耐受性，具有较长的维护间隓/span>
低功率和低耗水量实现低COO
由于具有优异的抗静态和动态内应力，从而增加了安全?/span>
尺寸AD 600 H
AD 3060 H
AD 4560 H
抽速对毓/span>
AD 4560 H / AD 3060 H / AD 600 H 使用N2
AD 4560 H 采用不同的罗茨泵转 使用N2
