供电电源

AC380±10% 三相五线�?nbsp;50Hz/60Hz

系统总功玆�/span>

14KW

微波输出功率

2�?0KW

微波工作频率

2.45GHz

反应腓�/span>

不锈钢谐振腔

整机真空气密�?/span>

�?.33×10^-10Pa·m³/s (�?×10^-9Torr L/s（�/span>

沉积台类垊�/span>

水冷式沉积台

有效沉积面积

**沉积面积Ф�?英吋�?6mm（�/span>

工作压力范围

1�?2Kpa �?0Torr�?20Torr（�/span>

自动压力控制精度

±15 Pa (�?.12 Torr)

真空泵抽逞�/span>

旋转真空油泵�?0m³/h（�/span>

标准气路

五路MFC气路（可选配（�/span>

微波泄漏功率密度

�?mw/cm²

控制系统

PDS-MPCVD控制系统

观察窖�/span>

ICF70 4个，ICF34 4�?/span>

运行工作环境

恒温20�?24ℂ�br/>相对湿度20%~70%（无凝露、无腐蚀性气体）

冷却水流野�/span>

�?1 L/min流量可调
进水/回水压差：≥0.42 M Pa

系统重量

500±5KG