系统特点９�/span>

·采用方位换向对称方式微波耦合，来提高微波的均匀�?/span>

·稳定沉积面积44cm2/80cm2

·**功率达到8KW/10KW

·使用纯净的石英窗

·采用特殊铝合金反应腔，能耐高温（碟形（�/span>

·高压力控制，产生高密度多模式等离子体（碟形）

·使用高精度气体质量流量计，高可靠性稳定的压力控制系统

·稳定的微波输�?/span>

设备的优势：

·反应可控，能长时间稳定工作在8KW/10KW

·所有电子设备中采用微波，没有电极放电，没有金属污染

·参照C/H/O比例表，对反应物有更大的选择余地

·采用高效散热的样品台�?*散热能力可达20KW以上

·高效率微波利用率，氢等离子体直接作用于样品台加热时效率可辽�span class="font7">75%以上

·高可靠性，高实验重复性，高设备耐久�?/td>

·简捷的人机交互界面

应用９�/span>

·宝石

·复合热沉牆�/td>

·精密加工刀具刀夳�/td>

·红外光学窗口

·半导体wafer

·生物电极