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碳化硅粉

>碳化硅陶瓷载盗/p>

碳化硅陶瓷载盗/div>

碳化硅陶瓷载盗/p>

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江阴晶沐光电新材料有限公号/p>

江苏

产品规格型号
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面议

品牌9/div>

晶沐光电

型号9/div>

碳化硅陶瓷载盗/p>

关注度:

680

产品介绍

碳化硅陶瓷载盗/strong>

厚度

0.75mm

直径

156mm

气孔徃/p>

? μm

双面平面?/p>

?5 μm

TTV

? μm,5点量浊/p>

平行?/p>

?5 μm

翘曲度要汁/p>

90? 250 宏观目视不翘曲变彡/p>

密度

1.8~2.4 g/cm3

气孔玆/p>

30%-50%

抗折强度

?5 Mpa

热膨胀系数

7.5 ?0-6/℃)

透气性要汁/p>

空吸:真空度 -30 Kpa
放置Wafer SIC载盘上:真空 ?60 Kpa

外观

1.全周去毛边,锐角倒钝
2.无缺觑br/>3.刮伤:W?.03mm&L?mm,N?


产品咨询

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