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单片?预热 Si外延设备零部仵/p>
面议
志橙半导佒/p>
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| 产品介绍及用途: | 处于Si外延衬底托盘外圈,用于校基准、加?/td> |
| 产品所处设备位置: | 反应腔内,非直接接触晶圆 |
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