设备配置说明９�/p>

设备类型：Cassette-type & Cassetteless-type，支持SMIF或Foup 晶圆尺寸�?50mm, 200mm, 300mm 设备配置�?~12 个槽�? 2~6 个Robot（可定制�  可搭载先进超声波, 兆声�  槽体过温保护, 各Module配置漏液传感�  多级Wafer保护措施  支持化学液C.C.S.S / L.C.S.S 自动换酸, 自动补液、配�? 可兼容多种浓度配� 先进Marangoni干燥  加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制  化学�?�? 直排&回收 可靠性能：Uptime�?5% Breakage�?/10000  MTBF�?20hours MTTR�? hours 软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC功能