设备配置９�/p>

超声波震动仪2�?/p>

气枪2只，水枪2�?/p>

触摸�?个（含PLC控制（�/p>

液位sensor 3个及漏液检测sensor1寸�/p>

设备功能９�/p>

可处理wafer破片之后的FOUP

可作为FOUP 或parts 辅助量测设备

可作为FAB内各种parts 清洗朹�/p>

定期的Auto cleaner monitor FOUP

产能可根据要求设计制佛�/p>