桌面单点测量▻�/span>

低成本的台式少子寿命测量系统，对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴，用于厚度�?56毫米以下的晶锭、�/span>

MDPspot可配电阻率测试选项，常规仅适用于硅，也可用于没有高度调整可能性的晶圆片以及晶锭，不过需对这两个选项之一进行预定义�

MDPspot配备结果可视化的标准软件、�/span>

设备特性▼

l无接触和非破坏的电学参数测试

l对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的较高分辨玆�/span>

l对于不同级别晶圆片，提供不同的菜单选项

产品优势▻�/span>

l用于不同制备阶段，从成体�?终器件，多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置、�/span>

l体积小，成本低，使用方便。拥有一个基本的软件，结果可视化、�/span>

l适用于晶圆片到晶锭，易于高度调整、�/span>

技术参数▼

样品	不同工艺处理样品，如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等
样品尺寸	50 x 50 mm2 �?2� �?10 x 210 mm2
电阻玆�/span>	0.2 - 103 Ohm cm
材质	硅晶圆，晶锭，部分或全部加工晶圆，化合物半导体和其它类型
少子寿命检测范図�/span>	20ns到几十ms
尺寸	360 x 360 x 520 mm，质量：16 kg
电源	110/220 V� 50/60 Hz� 3 A