XRD-OEM的特点▼

l可以集成任何自动化或处理系统专�/span>适用亍�/span>极端环境(研磨、锯�?

l紧凑、标准的工业接口

l独立定位测量＋�/span>�?/span>测量平面或圆�?/span>

l光学等级检浊�/span>

l解决了行业难颗�/span>:

�如果加工设备和定向测量是分开的，那么就会因为样品转移而造成定向误差

�市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大

l将测量过程整合到工业生产�?/span>＇�/span>研磨或锯分�/span>（�/span>

技术参数▼

l可测量材料：硅，碳化硅，砷化镒�/span>叉�/span>更多

l样品尺寸：钢锭直徃�/span>450毫米

l冷却：空气，低噪韲�/span>

l可能的用途：在锯/�?/span>/干�/span>/缺口检测前对大型晶锭进行预对准

应用实例▻�/span>

硅锭取向:

磨削前对平面和缺口位置的检浊�/span>

样品直径可达8 "＋�/span>长度可达40厘米

XRD-OEM适配普遍的打磨设备▼

无需移动样本即可进行定向＋�/span>�?/span>与打磨产线相结合直接进行在线检浊�/span>

可以直接集成�?/span>基础机圆磨床72/856三�/span>