设备型号

CHLY001

功能特点

高精度视觉检测系统，能够快速准确的定位并识别晶锭内部掺杂区域质量，采用先进的图像处理算法，可提供清晰的检测图像和详细的检测报告、�/span>

应用场景

在SiC衬底片制造加工过程中，来料检测至关重要，视觉检测设备能精准检测各种尺寸、不用品质的晶片，高效剔除不合格品，保障生产流程稳定、高效运行、�/span>

产品参数

项目	参数
检测范図�/span>	6-inch/8-inch
上下行程	0-80mm
重复定位精度	0.001mm
运动部件	上料直线电机９�/span>300mm/s
设备尺寸(W*D*H)	680mm×680mm×700mm
设备质量	�?/span>80KG