SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,可满足IC前道制?0nm?10nm?80nm关键层和非关键层的光刻工艺需求,可用?寸产线或12寸产线、/p>