产品特征

高精�?/p>

精密的光学系统和先进的测校等技术，保证设备高分辨率，支持新型显示屏的高精度曝光、�/p>

低使用成�?/p>

较低的运营和维护费用：采用标�?英寸掩模(或其加长�?�?倍放大成像，显著降低掩模费用、�/p>

可拼接曝光大尺寸屎�/p>

采用精密的拼接策略，依靠优良的控制能力，可实现更大尺寸显示屏幕的拼接曝光、�/p>

工艺适应性强

支持多种基板尺寸，可选配红外等多种对准光源波长，适应各种曝光工艺工况。具有多�?5片工位的掩模版库，每片独立版盒，对生产制造非常方便、�/p>