有人曾这样形容磁控溅射技术——就像往平静的湖水里投入了石子溅起水花。磁控溅射真空镀膜技术是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition）的一种，其原理是：用带电粒子加速轰击靶材表面，发生表面原子碰撞并产生能量和动量的转移，使靶材原子从表面逸出并沉积在衬底材料上的过程、�/p>

磁控溅射技术得以广泛的应用,是由该技术有别于其它镀膜方法的特点所决定的、�/p>

其特点可归纳为：可制备成靶材的各种材料均可作为薄膜材�?包括各种金属、半导体、铁磁材�?以及绝缘的氧化物、陶瓷等物质，尤其适合高熔点和低蒸汽压的材料沉积镀膜在适当条件下多元靶材共溅射方式，可沉积所需组分的混合物、化合物薄膜、�/p>

磁控溅射的优点：

1、沉积速率快，沉积效率高，适合工业生产大规模应用；在沉积大部分的金属薄膜，尤其是沉积高熔点的金属和氧化物薄膜时，如溅射钨、铝薄膜和反应溅射TiO2、ZrO2薄膜，具有很高的沉积率、�/p>

2、基片温度低，适合塑料等不耐高温的基材镀膜；

3、制备的薄膜纯度高、致密性好、薄膜均匀性好、膜基结合力强。溅射薄膜与基板有着极好的附着力，机械强度也得到了改善；溅射的薄膜聚集密度普遍提高了，从显微照片看，溅射的薄膜表面微观形貌比较精致细密，而且非常均匀、�/p>

4、可制备金属、合金、半导体、铁磁材料、绝缘体（氧化物、陶瓷）等薄膜；

5、溅射的薄膜均具有优异的性能。如溅射的金属膜通常能获得良好的光学性能、电学性能及某些特殊性能：�/p>

6、环保无污染。传统的湿法电镀会产生废液、废渣、废气，对环境造成严重的污染。不产生环境污染、生产效率高的磁控溅射镀膜法则可较好解决这一难题、�/p>